ホームハードウェアマイクロ波プラズマ マイクロ波プラズマ プラズマ源プラズマ源キャビティ型マイク波プラズマ源⁄ リエントラント型マイクロ波プラズマ源⁄ ECRプラズマ源⁄ PECVDプラズマ源⁄ シングルモード型マイクロ波プラズマ源プラズマコンポーネンツプラズマコンポーネンツ915MHz/2.45GHz/5.8GHz チューニング システム ⁄ アイソレータ ⁄ スタブチューナ ⁄ 真空ウインドウ ⁄ 同軸アダプタ ⁄ 同軸導波管変換器 ⁄ 結合器 ⁄ サーベイメーター ⁄ 検出器 ⁄
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